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Etude des non-linéarités de permittivité de diélectriques utilisés en microélectronique. Application aux capacités MIM.
Stéphane Bécu
à
électrique
diélectrique
capacités
capacité
permittivité
température
ta2
coefficient
diélectriques
figure
polarisation
tension
modèle
khz
été
l’épaisseur
l’alumine
al2
sio2
si3
caractéristiques
différentes
propriétés
matériau
d’alumine
fréquence
silicium
courant
linéarités
très
mocvd
suivant
conduction
densité
valeurs
variations
déposé
l’oxyde
ionique
courants
l’équation
mesures
électriques
ppm
matériaux
couche
l’énergie
paramètres
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french
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